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光譜橢偏儀 為了獲得測(cè)量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中沒(méi)有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個(gè)特性。通過(guò)創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器2C設(shè)計(jì)擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測(cè)量全穆勒矩陣。該設(shè)計(jì)是可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)和實(shí)現(xiàn)成本效益的附件。
